PIG3軸アライメントステージ

同一平面上で駆動するため、平面移動精度が高く、従来の3軸組み合わせタイプと比較して、高さ方向の寸法を抑えられます。

3軸の直動スライドの組み合わせにより、テーブルサイズや移動量を自由に設定でき、専用制御ソフトで簡単に初期設定が可能です。

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PIG 3-220 

ストローク(X軸、Y軸) 

50 mm

回転角度(θ軸)

±9度 

 すべりねじリード

 2 mm 

 精度(マイクロステップなし時)

 0.004 mm 

 繰り返し位置決め精度

0.05 mm

バックラッシ

0.01 mm

負荷(水平)

25 N

質量

3.7 Kgs