在面向批量生产线的制造/检查装置的组装上有多年的实绩。最适合半导体、平板显示器(FPD)和屏幕印刷机的安装。
モーター直結型スライドねじ軸、5相ステッピングモーター直結型
因为在同一平面上驱动,所以平面移动精度高,与以往的3轴组合类型相比,可以抑制高度方向的尺寸。通过3轴的直动滑块的组合,可以自由设定表格尺寸和移动量,可以通过专用控制软件简单地进行初始设定。
精密滚珠丝杆驱动,PIG电动滑动台,可直接用于简单控制的精密定位模块,精密转造滚珠丝杆使价格降低,也能实现高精度
从业界最小的20mm角度到强有力的86mm角度,可用于丰富多彩的尺寸到最适合用途的组合。