量産ライン向けの製造装置・検査装置の組み立てにおいて、長年の実績を有しています。半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、スクリーン印刷機への搭載に最適です。
1軸/2軸汎用モーションコントロールユニット、補間機能付き4軸モーションコントロールカード、汎用多軸モーションコントロールカード
モーター直結型スライドねじ軸、5相ステッピングモーター直結型
同一平面上での駆動により、平面移動の精度が高く、従来の3軸組み合わせタイプと比較して、高さ方向の寸法を抑えることができます。3軸のリニアスライドの組み合わせにより、テーブルサイズや移動量を自由に設定でき、専用制御ソフトウェアを使って簡単に初期設定を行うことが可能です。
精密ボールねじ駆動、PIG電動スライドテーブル。簡易制御に直接使用可能な精密位置決めモジュール。精密転造ボールねじにより低価格を実現しながら、高精度も達成できます。
業界最小の20mm角から強力な86mm角まで、多彩なサイズから用途に最適な組み合わせが可能です。